壓電二維納米位移臺

壓電二維納米位移臺，XYMF-133-100A平移臺實現了在XY二維空間上的準確定位，具有分辨率高，行程大（XY軸行程±50mm），帶有高精度及高分辨率的位置反饋。操作簡單，定位準確，能在真空下使用等優點，可應用于需要納米精度運動操作及定位的各個領域。

壓電二維納米位移臺使用壓電陶瓷驅動，運動無需潤滑，百分百真空兼容，并可在很廣的溫度范圍內工作。運動分辨率達到亞納米級。步進和掃描雙模式工作，并且在宏觀行程范圍內同樣達到亞納米分辨率的定位。支持開環閉環控制。

XYMF-133-100A技術參數

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